云和产业观察

半导体靶材研报告（三）

半导体靶材产业链

半导体靶材产业链可分为三个紧密衔接、价值逐级递增的环节：

① 上游 - 原料供应层：核心是高纯金属、合金及化合物的提纯与初级制备。这是产业的基础，原料的纯度、稳定性和成本直接决定中游制造的可行性与下游产品的性能上限。

② 中游 - 加工制造层：核心是通过精密工艺将高纯原料加工为符合溅射要求的靶材成品，涵盖成型、致密化、精密加工及绑定等关键步骤。这是技术密集的核心环节，是实现原料向高价值功能材料转化的关键。

③ 下游 - 应用市场层：核心是在半导体、显示、光伏等领域的薄膜沉积工艺中消耗靶材，最终实现终端产品的功能化。这是价值变现的终端环节，直接对接高端制造产业的技术迭代需求。

上游：原料供应分析

上游原料是半导体靶材性能的 “源头保障”，按材质可分为三大类，其纯度要求普遍达到 5N（99.999%）以上，部分先进制程用原料需突破 7N（99.99999%）级别。

主要原料分类

1.单一高纯金属：如铝、铜、钽、钨、钛、镍等，是金属靶材的核心原料。特点是需求量大、用途分化明确 —— 铝靶多用于成熟制程互连层，铜靶主导 7nm 以下先进制程，钽靶则作为阻挡层关键材料。国内在基础品类上已实现突破，如新疆众合的 5N5 级高纯铝产能占国内 60%，但钽、钴等高端金属自给率不足 10%，主要依赖澳大利亚、刚果（金）进口。

2.合金及化合物原料：包括 SnAgCu、TiN 等合金组分，以及氧化铟锡（ITO）、氮化硅等陶瓷化合物前驱体。特点是成分调控要求严苛，需通过机械合金化或化学合成实现精准配比。例如，铜锰合金靶需控制锰含量在 0.5%-2% 之间，以适配 Micro LED 显示面板的电极需求。这类原料的制备依赖多元素协同提纯技术，国内企业仍以中低端产品为主。

3.稀土与难熔金属：如铽、镝等稀土元素用于磁性靶材，钨、钼等难熔金属用于高温耐受场景。特点是战略属性强、提纯难度大，稀土靶材因独特的光电特性，在高端传感器领域不可或缺，国内有研亿金在此类细分市场市占率超 90%。

核心痛点与挑战

1.高纯原料进口依赖度高：全球 70% 以上的高纯金属产能集中于美日企业，日本 JX 金属、美国霍尼韦尔垄断了 6N 级以上钽、钴原料供应，国内高端原料进口依赖度超 80%。俄乌冲突后，钽、钨等战略金属价格波动加剧，2024 年高纯钽价格同比涨幅达 35%，直接推高原料成本。

2.提纯技术壁垒森严：

从 4N 工业级金属到 7N 半导体级原料，需通过电子束熔炼、区域熔炼等多道工艺，而核心设备如 10⁴℃以上高温真空熔炼炉主要依赖欧美进口，国内设备难以满足杂质控制在 0.05×10⁻⁶以下的要求。

3.供应链稳定性不足：部分原料如钴主要依赖刚果（金）开采，存在资源地缘风险；同时，原料检测需依赖 ICP-MS 等精密仪器，国内虽有钢研纳克实现设备国产化，但高端机型检出限仍落后于美国赛默飞。

4.成本占比过高：高纯原料成本占靶材总成本的 60% 以上，且价格受全球矿产供需影响剧烈，中小企业难以通过长协锁定供应，抗风险能力薄弱。

中游：加工制造分析

中游是半导体靶材产业的 “价值核心”，需通过多道精密工艺将原料转化为致密度≥99%、晶粒尺寸偏差≤10% 的成品，技术复杂度远超普通金属加工。

核心技术环节

1.原料预处理与提纯：在进入成型环节前，需通过化学除杂、真空蒸馏等工艺进一步降低杂质含量。例如，有研新材采用 “双电子束熔炼” 工艺，将镍中碳含量从 0.5×10⁻⁶降至 0.08×10⁻⁶，满足 7nm 制程要求。

2.成型与致密化：根据原料特性采用不同工艺 —— 金属靶材多通过真空电弧熔炼制成坯体，难熔金属及陶瓷靶材则依赖粉末冶金法，经粉末压制、热等静压（HIP）烧结，使致密度从 95% 提升至 99.5% 以上。江丰电子通过优化 HIP 参数（温度 1100℃、压力 180MPa），将铜靶良率从 70% 提至 92%。

3.精密加工与绑定：通过高精度研磨将靶材平面度控制在 0.2mm/m 以内，表面粗糙度≤0.8μm，随后与铜 / 铝背板通过扩散焊接实现无空洞结合。隆华科技开发的 “多道次轧制 + 低温退火” 工艺，将钼靶晶粒尺寸控制在 30μm±5μm，溅射均匀性达 98% 以上。

4.检测与质量控制：采用 XRD 分析晶体结构、SEM 观察微观形貌，同时通过溅射测试验证薄膜均匀性。国内企业已建立全流程检测体系，但先进制程靶材的批次稳定性仍需提升。

核心痛点与挑战

1.设备与工艺双重受限：高精度研磨机、电子束焊接设备主要来自德国勇克、日本住友，国内设备在平面度控制精度上差距明显；同时，旋转靶材的 “无焊缝成型” 等工艺仍被 JX 金属垄断，国内企业利用率仅 60%，而国际先进水平已达 85%。

2.研发投入与专利差距：头部企业年均研发费用占比超 14%，但近三年中国在多层结构靶材领域的专利申请量仅占全球 34%，核心工艺如合金靶材成分均匀调控专利多被美日企业掌控。

3.良率与成本的平衡难题：12 英寸靶材生产中，仅边缘切割损耗就达 15%，且先进制程产品检测合格率不足 80%；虽可通过旋转靶材设计降低损耗，但设备改造需投入数千万元，中小企业难以承受。

4.环保与能耗压力：熔炼、焊接等环节能耗极高，单条 12 英寸靶材生产线年耗电量超百万度；同时，加工过程产生的重金属废渣需专业处理，环保成本占生产成本的 8%-12%。

下游：应用市场分析

下游是半导体靶材的 “需求终端”，市场规模与高端制造技术迭代深度绑定，2025 年全球半导体领域需求占比超 60%，且先进制程驱动高端靶材增速达 28%。

主要应用领域

1.半导体芯片制造（核心市场）：逻辑芯片中，铜靶用于 7-14nm 互连层、钽靶用于阻挡层；存储芯片中，钴靶适配 3D NAND 字线制备，钨靶用于 TSV 填充。驱动因素是 5G、AI 带来的芯片扩产潮，中芯国际、长江存储 2024 年靶材采购量同比增长 45%。

2.平板显示：ITO 靶用于 LCD/OLED 透明电极，钼靶用于 OLED 蒸镀掩模版，铜锰合金靶因 Micro LED 商业化需求同比增长 45%。京东方、TCL 华星是主要采购方，对靶材尺寸（最大 1.8 米 ×1.5 米）和均匀性要求严苛。

3.光伏能源：AZO（氧化锌铝）靶用于薄膜电池导电层，铜铟镓硒（CIGS）靶用于高效光伏组件，异质结电池扩产推动银浆靶材需求增长 30%。驱动因素是光伏装机量提升与降本需求。

4.高端电子与其他：磁性靶材用于硬盘读写头，稀土靶材用于传感器，这些领域对靶材的磁学、光学特性有定制化要求，虽体量较小但附加值高。

核心痛点与挑战

1.客户认证周期漫长：下游晶圆厂对靶材的验证包括实验室测试、中试量产等多阶段，先进制程靶材认证需 12-18 个月，且认证成本超千万元，中小企业难以承担。

2.成本竞争力不足：国产高端靶材因良率低、设备折旧高，成本比进口产品高 17%；在成熟制程领域，虽能实现替代，但价格仅比日本产品低 5%-8%，缺乏绝对优势。

3.设备 - 材料适配难题：国内刻蚀设备与高端靶材的适配测试覆盖率仅 60%，导致部分晶圆厂虽采购国产靶材，仍需搭配进口设备使用，无法充分发挥成本优势。

4.回收体系尚未完善：废旧靶材中含钽、钨等贵金属，但国内回收技术主要集中于简单熔炼，材料纯度难以恢复至半导体级，而 JX 金属已实现 95% 回收率，降低原料依赖 30%。

5.技术迭代压力：3nm 及以下制程需钌靶、高熵合金靶等新型材料，国内企业虽有河南东微电子实现钌靶量产，但批量供应稳定性仍需验证，面临美日企业技术压制。

|云和资本董事长赵云受邀出席生态环境部政研中心绿色基金支持绿色产业高质量发展讨论会

11月13日上午，生态环境部环境与经济政策研究中心（以下简称“政研中心”）组织召开绿色基金支持绿色产业高质量发展研究讨论会。政研中心副主任田春秀出席会议并致辞，政研中心经济部副主任黄德生主持会议，来自国家绿色发展基金股份有限公司、中国人民银行金融研究所、生态环境部环境规划院、中国社会科学院金融研究所、兴业碳金融研究院、中铝创新发展股权投资基金管理（北京）有限公司、中国环境报社、丽水市生态环境局云和分局、无锡云和世锦投资管理有限公司等单位专家学者出席会议。

田春秀副主任强调，绿色基金作为绿色金融体系中的重要组成部分，是绿色信贷、绿色债券等债权融资工具的重要补充，具有政策导向强、资金渠道广、运作灵活等独特优势，对撬动更多社会资本、精准支持绿色低碳项目具有重要意义，为发挥绿色金融作用服务美丽中国建设提供有力支撑。

政研中心经济部课题组依托《绿色基金支持绿色产业高质量发展 打造云和美丽中国建设示范》项目，系统梳理国家和地方绿色基金政策及实践进展，识别当前绿色基金发展存在的问题，总结绿色基金支持绿色产业的典型案例模式，并提出相关政策建议，专家们充分肯定了研究成果并一致同意通过项目验收。

专家认为，绿色基金是实现财政金融协同的重要载体，厘清政府和市场在绿色产业投资中的定位，开展绿色产业细分领域投资现状研究，有利于促进有效市场和有为政府更好结合，推动实现绿色低碳发展。建议加大对政府引导绿色基金研究，加强绿色基金投资环境效益量化评估，制定完善绿色基金投资经济激励措施和投资容错机制，建立健全绿色基金与优质绿色项目对接机制，加快绿色基金人才建设，积极宣传绿色基金影响力。

下一步，政研中心将在创新绿色基金政策机制、完善绿色金融政策体系方面持续开展研究，推动基金“向绿而行”、精准支持绿色项目，为美丽中国建设提供有力支撑。

|深化政企合作 赋能产业升级：迁安市与云和资本签署战略协议

11月7日上午，迁安市委书记曹向东一行赴云和资本北京总部考察。考察期间，曹向东听取了创始人赵云对公司发展历程的介绍，出席了《迁安创新模式“基金+基地+基业”项目战略合作协议》与《云和科创股权投资基金合伙企业（有限合伙）合伙协议》的签约仪式，并发表总结讲话。

迁安市市委常委、常务副市长赵秀爽，迁安市经开区党工委委员、副主任牛春宝，以及迁安市市发展改革局、商务和投资促进局主要负责人陪同考察。迁安国控集团、金宝实业集团、云和资本、云园科技股份等企业负责人共同参加上述活动。

|云和资本董事长赵云受邀出席第七届中国创新发展高峰论坛

参考消息网11月15日报道（文/陈鹏 谢来）11月15日，第七届中国创新发展高峰论坛在中国科学院大学北京中关村校区开幕。本届论坛由中国高技术产业发展促进会主办，主题为“AI+赋能高技术产业创新发展”，来自政、产、学、研各界的专家与行业领袖近千人参加，云和资本董事长赵云理事受邀出席，并参加了中国高技术产业发展促进会第五届理事会第四次会议。

中国高技术产业发展促进会理事长赵震声在接受采访时表示，推动“人工智能+”行动是高技术产业把握历史机遇、塑造竞争新优势的关键，高技术发展对整个国家的发展、经济促进起着非常重要的作用。

在论坛上，多位专家聚焦宏观战略、前沿科技、创新变革、科技教育带来前瞻性分享，共话人工智能赋能产业升级图景，探索新质生产力发展路径，推动经济社会高质量发展。

本届论坛还将围绕绿色革新、资本洞察、能源智绘、人才重塑、技术前沿、生物农业六个主题举行七个平行分论坛，展现了“AI+”驱动的产学研跨界融合与深度渗透。

中国高技术产业发展促进会是由原国家计委、原国家科委、原国防科工委、原国家教委、中国科学院和中国社会科学院（简称 ：四委两院）有关研究单位共同发起的民间社团组织，经原国家科委、民政部批准于 1993 年 5 月在北京正式成立。2019 年，民政部批准为全国高技术产业行业协会，是民政部注册的国家级公益性社团组织，中央社会工作部领导协会的党建工作，工业和信息化部指导协会的业务工作。

中国高技术产业发展促进会理事长赵震声在接受采访时表示，推动“人工智能+”行动是高技术产业把握历史机遇、塑造竞争新优势的关键，高技术发展对整个国家的发展、经济促进起着非常重要的作用。

|燧原科技亮相GOTC 2025，展示国产算力创新与开源生态实践

在2025年11月的全球开源技术峰会（GOTC 2025）上，燧原科技作为国产AI算力创新力量，重点展示了其在算力基础设施、AI商业化落地及开源生态建设方面的成果。

其第三代产品燧原S60已大规模部署超7万卡，支持300多个应用场景。公司软件工程师丁圣阁在演讲中指出，软件生态的可用性与持续优化是国产算力产生业务价值的关键，并分享了燧原在应对大模型挑战下的软件栈创新与性能优化案例。此外，燧原科技通过拥抱主流开源生态、与Gitee AI合作共建算力与模型市场，致力于为开发者提供低成本、高性能的创新支持，共同推动国产算力生态发展。

（来源：燧原科技Enflame）

|集创北方OLED TDDI芯片荣获“2025世界显示产业大会十大创新产品”

11月3日至4日，由成都市人民政府、四川省经济和信息化厅、四川省经济合作局主办的2025世界显示产业创新发展大会在成都天府国际会议中心举办。北京集创北方科技股份有限公司（以下简称“集创北方”）自主研发的OLED显示与触控集成（TDDI）芯片ICNA3611凭借突出的技术实力与市场价值，荣获“十大创新成果”殊荣。

ICNA3611是国内首颗面向手机应用的1.5K分辨率OLED TDDI芯片，最高支持FHD+@165Hz刷新率。该产品不仅填补了国产高分辨率OLED TDDI领域的空白，更凭借差异化技术优势建立竞争壁垒，适配了国产厂商产品技术迭代需求。

|星恒电源亮相米兰国际车展，展示从电摩到全场景的锂电解决方案

在2025年米兰国际两轮车展（EICMA）上，星恒电源向全球市场系统展示了其深度国际化的战略布局与产品实力。

展会的核心是面向全球主流电动摩托车打造的大容量高性能锂电池系列。该系列覆盖60V-76V宽电压平台，具有镁合金外壳、IPX7级防水、长循环寿命和高放电倍率等特点，旨在满足90%用户的日常通勤需求，并已通过东南亚市场验证。

beyond电摩，星恒还展示了覆盖1-15度电的全场景锂电方案，包括经典的电动自行车电池、电动三轮车电池、老年代步车电池、电动船用电池以及符合欧盟标准的城市物流电池。

最大的亮点是创新的“1246”产品方案。它通过标准化、模块化设计（如7630型号电池），使同一块电池能在电动两轮车、三轮车、低速四轮车乃至储能设备间灵活切换使用，实现了“一电多用”的跨场景能源共享新理念，展现了星恒对未来出行能源生态的深度思考。

（来源：星恒锂电池）

|涪陵高新区管委会副主任艾海男一行考察蔚复来

近日，重庆市涪陵高新区（涪陵综保区）管委会副主任艾海男，涪陵区住房城乡建委副主任、省经信厅产业处副处长周畅等一行到蔚复来考察交流。

|八维通支持全国消防数字孪生大赛，以新质生产力护航公共安全

11月9日，由中国消防救援学院主办的CFRI2025全国消防数字孪生创新应用大赛颁奖仪式在京举行，标志着大赛圆满落幕。

本次大赛以“数智赋能消防・科技护航安全”为主题，紧扣实战需求，设置了灭火救援数字预案、防消联勤、辅助决策等四大赛题。自5月启动以来，吸引了全国296支团队、1300余人参与。经过角逐，武汉、大连的两支队伍斩获特等奖。

作为技术支持单位，八维通科技有限公司为赛事提供了全链条技术保障。其董事长杨宏旭表示，大赛展现了前沿技术与消防实战融合的变革力量，未来将继续推动新质生产力在消防领域应用，为平安中国建设贡献力量。

|锂盾新材荣获“ABEC 2025”成长潜力奖

近日，第12届中国电池新能源产业国际高峰论坛（ABEC 2025）在苏州隆重举行。浙江锂盾新能源材料有限公司荣获“ABEC 2025”成长潜力奖。

（来源：锂盾新材）

|无锡产业集团主导管理的集成电路专项母基金成功设立20亿元市场化子基金

10月29日，无锡高投毅达战新集成电路股权投资基金顺利完成工商注册，基金规模20亿元，为江苏省战新母基金体系内注册规模最大的一支产业子基金。该基金由无锡产业集团主导管理的江苏无锡集成电路产业专项母基金（以下简称集成电路专项母基金）推动设立，旨在进一步助力江苏集成电路优质企业跃升发展，为产业链创新注入强劲动能。

（来源：无锡产业集团）

|湖州市产业集团成功发行第二期短期公司债

11月4日，湖州市产业集团成功发行2025年第二期短期公司债券，发行金额4亿元，期限1年，全场认购倍数3倍，发行利率1.78%，系全国地市级国企同品种公司债券发行利率历史最低，同时创浙江省同品种公司债券发行利率历史新低。

（来源：湖州市产业集团）

|南沙在港举办创新服务平台宣讲会，多重优惠与服务吸引港澳企业落户

11月7日，“南”得机遇，“港”创未来——南沙创新服务平台宣讲会在香港成功举办。活动在广州市南沙区相关部门指导下，由科金控股集团主办，旨在向港澳及国际企业推介南沙投资环境。

宣讲会重点展示了南沙的三大核心优势：

空间与租金支持：科金控股集团提供了约5万㎡的多样化物业载体，并针对优质港澳企业推出最长3年的租金减免政策，以“真金白银”降低落户成本。

全链条服务生态：通过“图南创投直通车”平台和“南沙财税八条”等政策，为企业提供从初创到IPO的全生命周期投融资及财税支持。

绿色金融创新合作：提出构建“南沙标准MRV+香港发行交易”的“双中心”模式，破解跨境绿色金融瓶颈，开拓合作新蓝海。

本次活动有效推介了南沙的优质载体与配套政策，为吸引优质项目落地、推动经济高质量发展注入新动能。

（来源：科金控股集团）

|国务院批复同意新郑综保区扩区

据悉，国务院日前已正式批复，同意郑州新郑综合保税区（以下简称“新郑综保区”）扩区，成为中部地区首个成功扩区的综合保税区。

目前，新郑综保区形成保税加工、保税物流、跨境电商等六大产业体系，区内150余家注册企业带动200多家配套企业集聚。2025年1—9月，新郑综保区进出口总值达2997.6亿元，同比增长29.3%，位列全国综保区第二位，占河南省进出口规模的46.6%，对河南省进出口增加值的贡献率高达66.86%。

（来源：投资郑州航空港）

|扬州国金担保获AAA主体信用评级

11月7日，扬州国金集团旗下扬州市融资担保集团有限公司成功获得国内权威评级机构中诚信国际信用评级有限责任公司主体信用评级“AAA”，成为全国非省会城市（计划单列市）首家获得中诚信“AAA”评级的地市级担保机构。这标志着其资本实力、风控能力与发展质量获得了资本市场高度认可，市场影响力和竞争力将大幅提升。

（来源：扬州国金集团）